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机译:多孔硅微加工制备悬臂梁用于流量传感器的特性
Young-min Kim; Chang-taeg Seo; Duk-soo Eun; Sung-gen Park; Chan-seop Jo; Jong-hyun Lee;
机译:表面微加工技术的多晶硅悬臂梁在微开关中的应用
机译:聚焦离子束化学气相沉积法制备类金刚石碳悬臂的力学特性及应用
机译:飞秒激光微加工在碳化硅深度蚀刻中的应用,用于制造高温压力传感器敏感隔膜
机译:流动传感器应用多孔硅微机械制造的悬臂梁特性
机译:光学询问的微加工硅悬臂梁传感器。
机译:将多孔有机硅电容压力传感器应用延伸到运动和生理监测中
机译:使用利用组合体/表面微机械加工技术制造的热机械测试芯片对多晶硅悬臂的机械表征
机译:通过多孔硅微细化和包含这种元素的传感器芯片制造单晶硅微机械元素的CMOS集成工艺
机译:通过多孔硅微加工和包含这种元素的传感器芯片来制造单晶硅微机械元件的CMOS集成工艺
机译:基于多孔硅微细化的集成式气体流量传感器
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